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矩底拱面状微透镜阵列的氩离子束刻蚀

张新宇 易新建 赵兴荣

强激光与粒子束Issue(3)：445,1.
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强激光与粒子束Issue(3)：445,1.

矩底拱面状微透镜阵列的氩离子束刻蚀

张新宇 1易新建 1赵兴荣2

作者信息

  • 1. 华中理工大学光电子工程系
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摘要

关键词

离子束刻蚀/微透镜阵列/矩底拱面

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张新宇,易新建,赵兴荣..矩底拱面状微透镜阵列的氩离子束刻蚀[J].强激光与粒子束,1998,(3):445,1.

基金项目

863高技术计划资助 （）

强激光与粒子束

OA北大核心CSCD

1001-4322

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