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4H-SiC同质外延的绿带发光与缺陷的关系

贾仁需 张义门 张玉明 郭辉 栾苏珍

物理学报2008,Vol.57Issue(7):4456-4458,3.
物理学报2008,Vol.57Issue(7):4456-4458,3.

4H-SiC同质外延的绿带发光与缺陷的关系

The relation between Green-band luminescence of 4H-SiC homoepitaxial layer and defects

贾仁需 1张义门 1张玉明 1郭辉 1栾苏珍1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子学院,宽禁带中导体材料与器件教育部重点实验室,西安,710071
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摘要

关键词

绿带发光/4H-SiC同质外延/晶体缺陷

分类

数理科学

引用本文复制引用

贾仁需,张义门,张玉明,郭辉,栾苏珍..4H-SiC同质外延的绿带发光与缺陷的关系[J].物理学报,2008,57(7):4456-4458,3.

基金项目

国家重点基础研究发展计划(973)(批准号:51327020202)和西安-应用材料创新基金(批准号:XA-AM-200704)资助的课题. (973)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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