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晶向对InGaP/GaAs HBT性能的影响

石瑞英 刘训春 孙海峰 袁志鹏

半导体学报2004,Vol.25Issue(4):446-449,4.
半导体学报2004,Vol.25Issue(4):446-449,4.

晶向对InGaP/GaAs HBT性能的影响

Orientation Effects on InGaP/GaAs HBT

石瑞英 1刘训春 2孙海峰 2袁志鹏2

作者信息

  • 1. 四川大学物理系,成都,610064
  • 2. 中国科学院微电子中心,北京,100029
  • 折叠

摘要

关键词

InGaP/GaAs HBT晶向效应/直流电流增益/截止频率/压电效应/侧向腐蚀

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

石瑞英,刘训春,孙海峰,袁志鹏..晶向对InGaP/GaAs HBT性能的影响[J].半导体学报,2004,25(4):446-449,4.

基金项目

国家重点基础研究发展规划资助项目(编号:G200006830403) (编号:G200006830403)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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