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基于介观压阻效应的高g值加速度计设计

陈尚 薛晨阳 张文栋 张斌珍 王建 范波

传感技术学报2008,Vol.21Issue(3):446-449,4.
传感技术学报2008,Vol.21Issue(3):446-449,4.

基于介观压阻效应的高g值加速度计设计

Design of High g Accelerometer Based on Meso-Piezoresistance Effect

陈尚 1薛晨阳 1张文栋 1张斌珍 1王建 1范波1

作者信息

  • 1. 中北大学电子测试技术国家重点实验室,太原,山西,030051
  • 折叠

摘要

关键词

高g值加速度计/介观压阻效应/量子阱薄膜/GaAs微结构

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

陈尚,薛晨阳,张文栋,张斌珍,王建,范波..基于介观压阻效应的高g值加速度计设计[J].传感技术学报,2008,21(3):446-449,4.

基金项目

国家自然科学基金资助项目(50405025,50535030) (50405025,50535030)

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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