传感技术学报2008,Vol.21Issue(3):446-449,4.
基于介观压阻效应的高g值加速度计设计
Design of High g Accelerometer Based on Meso-Piezoresistance Effect
摘要
关键词
高g值加速度计/介观压阻效应/量子阱薄膜/GaAs微结构分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈尚,薛晨阳,张文栋,张斌珍,王建,范波..基于介观压阻效应的高g值加速度计设计[J].传感技术学报,2008,21(3):446-449,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50405025,50535030) (50405025,50535030)