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SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究

杜立群 秦江 刘冲 朱神渺 李园园

光学精密工程2007，Vol.15Issue(4)：447-452,6.
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光学精密工程2007，Vol.15Issue(4)：447-452,6.

SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究

Study on dimensional precision of UV-lithography on SU-8 photoresist

杜立群 1秦江 2刘冲 1朱神渺 2李园园1

作者信息

  • 1. 大连理工大学,精密与特种加工教育部重点实验室,辽宁,大连,116023
  • 2. 大连理工大学,辽宁省微纳米技术及系统重点实验室,辽宁,大连,116023
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摘要

关键词

SU-8胶/菲涅耳衍射/紫外光刻/尺寸精度/MATLAB

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

杜立群,秦江,刘冲,朱神渺,李园园..SU-8胶紫外光刻的尺寸精度研究[J].光学精密工程,2007,15(4):447-452,6.

基金项目

国家科技支撑计划项目(No.2006BAF04B13)和国家自然科学基金项目(No.50675025) （No.2006BAF04B13）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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