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硅中氦离子注入所产生的微孔结构的吸杂作用

闵靖 朱剑豪

半导体学报Issue(6)：448,1.
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半导体学报Issue(6)：448,1.

硅中氦离子注入所产生的微孔结构的吸杂作用

闵靖 1朱剑豪1

作者信息

  • 1. 上海市计量测试技术研究院材料分析室
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摘要

关键词

硅/氦离子注入/微孔结构/吸杂

分类

信息技术与安全科学

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闵靖,朱剑豪..硅中氦离子注入所产生的微孔结构的吸杂作用[J].半导体学报,1999,(6):448,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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