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AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管肖特基高温退火机理研究

林若兵 王欣娟 冯倩 王冲 张进城 郝跃

物理学报2008,Vol.57Issue(7):4487-4491,5.
物理学报2008,Vol.57Issue(7):4487-4491,5.

AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管肖特基高温退火机理研究

Study on mechanism of AIGaN/GaN high electron mobility transistors by high temperature Schottky annealing

林若兵 1王欣娟 1冯倩 1王冲 1张进城 1郝跃1

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学微电子学院,宽禁带半导体技术重点实验室,西安,710071
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摘要

关键词

AlGaN/CaN高电子迁移率晶体管/肖特基接触/界面陷阱

分类

数理科学

引用本文复制引用

林若兵,王欣娟,冯倩,王冲,张进城,郝跃..AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管肖特基高温退火机理研究[J].物理学报,2008,57(7):4487-4491,5.

基金项目

国家自然科学基金重点项目(批准号:60736033)资助的课题. (批准号:60736033)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1000-3290

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