无机材料学报2004，Vol.19Issue(3)：449-455,7.
光刻系统用氟化钙晶体的研究进展
Research and Development Status of Calcium Fluoride Crystals Used in Lithography System
摘要
关键词
氟化钙/晶体/紫外/光刻/157nm/半导体分类
数理科学引用本文复制引用
董永军,周国清,杨卫桥,苏良碧,徐军..光刻系统用氟化钙晶体的研究进展[J].无机材料学报,2004,19(3):449-455,7.基金项目
上海市科技发展基金(022261053) （022261053）
