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用表面微机械加工技术制成的流速传感器

黄金彪骆志强冯耀兰童勤义

半导体学报Issue(7)：450,1.

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半导体学报Issue(7)：450,1.

用表面微机械加工技术制成的流速传感器

黄金彪 ¹骆志强 ¹冯耀兰 ¹童勤义¹

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摘要

关键词

流速传感器/多晶硅/桥形结构

分类

机械制造

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黄金彪,骆志强,冯耀兰,童勤义..用表面微机械加工技术制成的流速传感器[J].半导体学报,1993,(7):450,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

ISSN：1674-4926

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