液晶与显示2004，Vol.19Issue(6)：450-454,5.
氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用
Effect of Hydrogen Radical on Growth of Polycrystalline Silicon Thin Film by Cat-CVD System
摘要
关键词
多晶硅薄膜/氢原子/催化化学气相沉积分类
数理科学引用本文复制引用
邝俊峰,付国柱,高博,高文涛,黄金英,廖燕平,荆海..氢原子在Cat-CVD法制备多晶硅薄膜中的作用[J].液晶与显示,2004,19(6):450-454,5.基金项目
国家"863"计划资助项目(No.2002AA303250) （No.2002AA303250）
吉林省科技发展计划项目(No.20010305) （No.20010305）
