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高性能聚焦离子束技术的应用

周伟敏

理化检验-物理分册2004,Vol.40Issue(9):453-456,4.
理化检验-物理分册2004,Vol.40Issue(9):453-456,4.

高性能聚焦离子束技术的应用

THE APPLICATION OF HIGH RESOLUTION FOCUSED ION BEAM (FIB)TECHNIQUE

周伟敏1

作者信息

  • 1. 上海交通大学金属基复合材料国家重点实验室,上海,200030
  • 折叠

摘要

关键词

聚焦离子束(FIB)/透射电子显微分析(TEM)/二次离子像(SIM)/样品制备

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

周伟敏..高性能聚焦离子束技术的应用[J].理化检验-物理分册,2004,40(9):453-456,4.

理化检验-物理分册

OACSTPCD

1001-4012

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