天津师范大学学报（自然科学版）2004，Vol.24Issue(2)：45-48,4.
CrN/ZrN多层梯度薄膜的合成
Synthesis of Multilayered Gradient CrN/ZrN Films
摘要
关键词
磁控溅射/多层梯度薄膜/硬度分类
矿业与冶金引用本文复制引用
刘峰,刘谦祥,李德军..CrN/ZrN多层梯度薄膜的合成[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2004,24(2):45-48,4.基金项目
天津市应用基础重点项目,天津市地方高校与南开大学和天津大学科技合作项目(GJDF01) （GJDF01）
