物理学报2007，Vol.56Issue(1)：459-464,6.
Si3N4的晶体化和ZrN/Si3N4纳米多层膜的超硬效应
Crystallization of Si3N4 and superhardness effect of ZrN/Si3N4 nano-multilayers
摘要
关键词
ZrN/Si3N4纳米多层膜/外延生长/赝晶体/超硬效应分类
数理科学引用本文复制引用
赵文济,董云杉,岳建岭,李戈扬..Si3N4的晶体化和ZrN/Si3N4纳米多层膜的超硬效应[J].物理学报,2007,56(1):459-464,6.基金项目
国家自然科学基金(批准号:50571062)资助的课题. （批准号:50571062）
