表面技术2006，Vol.35Issue(2)：4-6,9,4.
类金刚石膜的性质和制备及应用
Properties, Preparation and Applications of Diamond-like Carbon Films
摘要
关键词
类金刚石膜(DLC)/杂化轨道/性质/应用/制备/沉积分类
数理科学引用本文复制引用
张敏,程发良,姚海军..类金刚石膜的性质和制备及应用[J].表面技术,2006,35(2):4-6,9,4.基金项目
国家自然科学基金(20375008,20475001) （20375008,20475001）
广东省自然科学基金(32167) （32167）
广东省科技攻关项目(2004B33301024) （2004B33301024）
广东省教育厅自然科学研究项目(Z03091)资助项目 （Z03091）
