西安电子科技大学学报（自然科学版）2000，Vol.27Issue(4)：460-462,466,4.
6H-SiC材料的氧化特性
Research on the oxidation characteristics of 6H-SiC
摘要
关键词
6H-SiC/氧化特性/温度响应/二氧化硅分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
李跃进,杨银堂,柴常春,任昌河..6H-SiC材料的氧化特性[J].西安电子科技大学学报（自然科学版）,2000,27(4):460-462,466,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(69772023) （69772023）
国家部委预研基金资助项目(8.1.7.3) （8.1.7.3）
