中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：461-463,3.
基于拉曼光谱的微结构应力测试方法
Stress Measurement in MEMS Based on Raman Spectroscopy
摘要
关键词
拉曼光谱/单晶硅/多晶硅/应力/拉曼频移分类
通用工业技术引用本文复制引用
桑胜波,薛晨阳,熊继军,张文栋..基于拉曼光谱的微结构应力测试方法[J].中国机械工程,2005,16(z1):461-463,3.基金项目
国家863高技术研究发展计划资助项目(2004AA404040) （2004AA404040）
山西省归国留学人员基金资助项目 （）
