材料科学与工程学报2005,Vol.23Issue(3):462-465,4.
a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析
Recrystallization Technology of a-Si:H Thin Films and Raman Spectra Analysis of Si Thin Films
摘要
关键词
非晶硅薄膜/再结晶技术/多晶硅薄膜太阳电池/Raman光谱/晶粒尺寸/结晶度分类
数理科学引用本文复制引用
冯团辉,张宇翔,王海燕,靳瑞敏,卢景霄..a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析[J].材料科学与工程学报,2005,23(3):462-465,4.基金项目
河南省自然科学基金资助项目(004040200) (004040200)