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a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析

冯团辉 张宇翔 王海燕 靳瑞敏 卢景霄

材料科学与工程学报2005,Vol.23Issue(3):462-465,4.
材料科学与工程学报2005,Vol.23Issue(3):462-465,4.

a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析

Recrystallization Technology of a-Si:H Thin Films and Raman Spectra Analysis of Si Thin Films

冯团辉 1张宇翔 1王海燕 1靳瑞敏 1卢景霄1

作者信息

  • 1. 郑州大学教育部材料物理重点实验室,河南,郑州,450052
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摘要

关键词

非晶硅薄膜/再结晶技术/多晶硅薄膜太阳电池/Raman光谱/晶粒尺寸/结晶度

分类

数理科学

引用本文复制引用

冯团辉,张宇翔,王海燕,靳瑞敏,卢景霄..a-Si:H薄膜的再结晶技术及Si膜的Raman光谱分析[J].材料科学与工程学报,2005,23(3):462-465,4.

基金项目

河南省自然科学基金资助项目(004040200) (004040200)

材料科学与工程学报

OACSCD

1673-2812

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