激光技术2004，Vol.28Issue(5)：463-465,468,4.
脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜
Study on the Al/Ag doping functional gradient thin films deposited by pulsed excimer laser
胡少六 1江超 1何建平 2王又青1
作者信息
- 1. 华中科技大学,激光技术国家重点实验室,武汉,430074
- 2. 湖北师范学院,物理系,黄石,435002
- 折叠
摘要
关键词
Al/Ag掺杂薄膜/脉冲激光沉积/微观分析/工艺参数分类
数理科学引用本文复制引用
胡少六,江超,何建平,王又青..脉冲激光沉积Al/Ag掺杂功能梯度薄膜[J].激光技术,2004,28(5):463-465,468,4.
