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低能量Ar+背面轰击对晶体管特性的影响

李观启 曾绍鸿 黄美浅

半导体学报Issue(6)：464,1.
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半导体学报Issue(6)：464,1.

低能量Ar+背面轰击对晶体管特性的影响

李观启 1曾绍鸿 1黄美浅2

作者信息

  • 1. 华南理工大学应用物理系
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摘要

关键词

氩离子束/晶体管/硅/平面晶体管

分类

信息技术与安全科学

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李观启,曾绍鸿,黄美浅..低能量Ar+背面轰击对晶体管特性的影响[J].半导体学报,1996,(6):464,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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