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As离子注入碲镉汞的p+n结红外探测器

赵晋云 曾戈红 马智玲

红外技术2002,Vol.24Issue(4):46-48,26,4.
红外技术2002,Vol.24Issue(4):46-48,26,4.

As离子注入碲镉汞的p+n结红外探测器

p+n Infrared Detectors by As Ion Implantation in HgCdTe

赵晋云 1曾戈红 1马智玲1

作者信息

  • 1. 昆明物理研究所,云南,昆明,650223
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摘要

关键词

碲镉汞/HgCdTe/p+n结/红外探测器/退火/As离子注入

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

赵晋云,曾戈红,马智玲..As离子注入碲镉汞的p+n结红外探测器[J].红外技术,2002,24(4):46-48,26,4.

红外技术

OA北大核心CSCDCSTPCD

1001-8891

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