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金刚石表面Ar离子溅射效应的电子能谱分析

林志东 刘黎明 张万荣

武汉化工学院学报2004,Vol.26Issue(2):46-49,4.
武汉化工学院学报2004,Vol.26Issue(2):46-49,4.

金刚石表面Ar离子溅射效应的电子能谱分析

An ESCA study on Ar ions sputtering effect on diamond surface

林志东 1刘黎明 2张万荣2

作者信息

  • 1. 武汉化工学院材料科学与工程学院,湖北,武汉,430073
  • 2. 北京工业大学电子信息与控制工程学院,北京,100022
  • 折叠

摘要

关键词

金刚石/Ar离子溅射/XPS

分类

数理科学

引用本文复制引用

林志东,刘黎明,张万荣..金刚石表面Ar离子溅射效应的电子能谱分析[J].武汉化工学院学报,2004,26(2):46-49,4.

武汉化工学院学报

1674-2869

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