山东科学2002，Vol.15Issue(2)：46-49,4.
TSUPREM-4二维集成电路工艺仿真系统及其应用
TSUPREM-4 2D IC process modeling system and application
陈慧凯1
作者信息
- 1. 山东大学信息科学与工程学院,山东,济南,250100
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摘要
关键词
集成电路/集成电路工艺仿真/计算机辅助设计/计算机模拟分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈慧凯..TSUPREM-4二维集成电路工艺仿真系统及其应用[J].山东科学,2002,15(2):46-49,4.
