福建师范大学学报（自然科学版）2004，Vol.20Issue(4)：46-49,4.
反应磁控溅射制备五氧化二铌光学薄膜
Deposition Niobium Oxide Optical Thin Films by Low Frequency Reactive Magnetron Sputtering
摘要
关键词
五氧化二铌/光学薄膜/特性分类
数理科学引用本文复制引用
赖发春,瞿燕,盖荣权..反应磁控溅射制备五氧化二铌光学薄膜[J].福建师范大学学报（自然科学版）,2004,20(4):46-49,4.基金项目
福建省自然科学基金重点资助项目(E030002) （E030002）
福建省科技厅基金资助项目(K04023) （K04023）
