液晶与显示2000，Vol.15Issue(1)：46-52,7.
激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究
Study of p-Si Film Obtained at Low Temperatures by Excimer Laser Annealing
摘要
关键词
p-si薄膜/激光退火/能量密度分类
数理科学引用本文复制引用
刘传珍,杨柏梁,李牧菊,吴渊,张玉,李轶华,邱法斌,黄锡珉..激光退火法低温制备多晶硅薄膜的研究[J].液晶与显示,2000,15(1):46-52,7.基金项目
中国科学院"九五"重大项目(KY95-A1-502)和吉林省科委"九五"科技攻关项目(970103-01)资助 （KY95-A1-502）
