传感技术学报2008，Vol.21Issue(3)：465-468,4.
压电折叠梁微执行器的低电压优化设计
Design Optimization of Piezoelectric Folded Cantilever Microactuators for Low Voltage Application
摘要
关键词
MEMS/压电/折叠梁/微执行器分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
方华军,刘理天..压电折叠梁微执行器的低电压优化设计[J].传感技术学报,2008,21(3):465-468,4.基金项目
国家自然科学基金项目资助(60706010) （60706010）
