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LCD工业用自动椭偏仪的设计思路

刘立国 吕正德 朱鹤年

光学精密工程2000，Vol.8Issue(5)：466-469,4.
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光学精密工程2000，Vol.8Issue(5)：466-469,4.

LCD工业用自动椭偏仪的设计思路

Design of automatic ellipsometer applied in LCD industry

刘立国 1吕正德 1朱鹤年1

作者信息

  • 1. 清华大学物理系,北京,100084
  • 折叠

摘要

关键词

椭圆偏振测量术/自动椭偏仪/LCD/薄膜

分类

机械制造

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刘立国,吕正德,朱鹤年..LCD工业用自动椭偏仪的设计思路[J].光学精密工程,2000,8(5):466-469,4.

基金项目

北京市科委科研基金资助项目 （）

光学精密工程

OACSCDCSTPCD

1004-924X

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