中国机械工程2005，Vol.16Issue(z1)：467-468,2.
基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作
Design and Fabrication of Microcantilever Integrated with PZT Thin Film Sensor and Actuator
摘要
关键词
PZT薄膜/压电/集成/微悬臂梁分类
机械制造引用本文复制引用
刘梦伟,佟建华,崔天宏,董维杰,崔岩,王兢,王立鼎..基于PZT薄膜的集成式微悬臂梁结构设计与制作[J].中国机械工程,2005,16(z1):467-468,2.基金项目
国家自然科学基金资助重大项目(90207003) （90207003）
