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1.25Gb/s InP基多量子阱激光器与HBT驱动电路的单片集成

李献杰 曾庆明 徐晓春 敖金平 赵方海 杨树人 柯锡明 王志功 刘式墉 梁春广

半导体学报2002,Vol.23Issue(5):468-472,5.
半导体学报2002,Vol.23Issue(5):468-472,5.

1.25Gb/s InP基多量子阱激光器与HBT驱动电路的单片集成

A 1.25Gb/s InP-Based Vertical Monolithic Integration of an MQW Laser Diode and an HBT Driver with a Lateral Buffer Mesa Structure

李献杰 1曾庆明 2徐晓春 2敖金平 2赵方海 3杨树人 3柯锡明 4王志功 4刘式墉 3梁春广2

作者信息

  • 1. 河北半导体研究所专用集成电路国家重点实验室,石家庄,050051吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130023
  • 2. 河北半导体研究所专用集成电路国家重点实验室,石家庄,050051
  • 3. 吉林大学集成光电子学国家重点实验室,长春,130023
  • 4. 东南大学射频与光电集成电路研究所,南京,210096
  • 折叠

摘要

Abstract

A novel fabrication process related to a smoothly wet chemical etching profile of InP-based epitaxial layers in the crystal direction of [011] for an InP-based monolithic vertically integrated transmitter with an MQW laser diode and a heterojunction bipolar transistors driver circuit is described.A clear eye output diagram via an O/E converter is demonstrated under a 1.25Gb/s non-return-zero pseudorandom code with a pattern length of 223-1.The integrated transmitter has a power dissipation of about 120mW with an optical output of 2dBm.

关键词

光发射/单片集成/光电集成电路

Key words

integrated optoelectronics/optoelectronic integrated

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李献杰,曾庆明,徐晓春,敖金平,赵方海,杨树人,柯锡明,王志功,刘式墉,梁春广..1.25Gb/s InP基多量子阱激光器与HBT驱动电路的单片集成[J].半导体学报,2002,23(5):468-472,5.

基金项目

国家高技术研究发展计划资助项目(项目编号:863-307-15-3-04) (项目编号:863-307-15-3-04)

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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