|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|半导体学报|硅中氧的结构组态及热扩散行为

硅中氧的结构组态及热扩散行为

陈畅生 曾繁清 熊传铭 沈学础

半导体学报Issue(8)：469,1.
✕
半导体学报Issue(8)：469,1.

硅中氧的结构组态及热扩散行为

陈畅生 1曾繁清 1熊传铭 1沈学础1

作者信息

  • 折叠

摘要

引用本文复制引用

陈畅生,曾繁清,熊传铭,沈学础..硅中氧的结构组态及热扩散行为[J].半导体学报,1991,(8):469,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文