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40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作

丁国庆

光通信技术2005,Vol.29Issue(10):4-7,4.
光通信技术2005,Vol.29Issue(10):4-7,4.

40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作

The Design and Fabrications of The Dies With a Link-Body Type of 40Gb/s PIN Wave-guide Photodetectors

丁国庆1

作者信息

  • 1. 武汉邮电科学研究院,武汉,430074
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摘要

关键词

PIN波导型光探测器/共面波导/光刻

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

丁国庆..40Gb/s PIN波导型光探测器联体式管芯的设计与制作[J].光通信技术,2005,29(10):4-7,4.

光通信技术

OA北大核心CSCD

1002-5561

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