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一个估算重离子在SiO2，Al2O3和Si3N4中的Rp和△Rp的经验公式

李金华张永恩夏曰源陈鄂生

半导体学报Issue(5)：471,1.

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半导体学报Issue(5)：471,1.

一个估算重离子在SiO2，Al2O3和Si3N4中的Rp和△Rp的经验公式

李金华 ¹张永恩 ¹夏曰源 ¹陈鄂生¹

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李金华,张永恩,夏曰源,陈鄂生..一个估算重离子在SiO2，Al2O3和Si3N4中的Rp和△Rp的经验公式[J].半导体学报,1983,(5):471,1.

半导体学报

ISSN：1674-4926

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