传感技术学报2009，Vol.22Issue(4)：471-475,5.
衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析
Analysis for the Pull-in Mechanism of Slab Magnetic Microactuators
摘要
关键词
MEMS/磁/微执行器/Pull-in分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
方玉明,李伟华..衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析[J].传感技术学报,2009,22(4):471-475,5.基金项目
国家"八六三"计划项目资助(2006AA042302) （2006AA042302）
国家自然科学基金项目资助(60806036) （60806036）
江苏省高校自然科学研究计划资助项目(08KJ13510014) （08KJ13510014）
