激光技术2008，Vol.32Issue(5)：474-476,526,4.
高精度控制光电光栅刻划机的光栅外差干涉仪
Grating heterodyne interferometer of high accuracy controlling photoelectric grating ruling engine
摘要
关键词
测量与计量/光栅干涉仪/位移测量/自准直衍射/刻划机/双频激光分类
机械制造引用本文复制引用
王芳,齐向东..高精度控制光电光栅刻划机的光栅外差干涉仪[J].激光技术,2008,32(5):474-476,526,4.基金项目
"十一五"国家科技支撑计划重大基金资助项目(2006BAK03A02) （2006BAK03A02）
