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IC划片、组装气动控制系统

刘慧芳王涛王国栋曹玉平

液压与气动Issue(9)：47-49,3.

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液压与气动Issue(9)：47-49,3.

IC划片、组装气动控制系统

The Pneumatic Control System for IC Scribing and Assembling

刘慧芳 ¹王涛 ¹王国栋 ¹曹玉平¹

作者信息

1. 天津大学,机械工程学院,天津,300072
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摘要

关键词

气动控制系统/芯片/管芯/划片/装片

分类

机械制造

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刘慧芳,王涛,王国栋,曹玉平..IC划片、组装气动控制系统[J].液压与气动,2005,(9):47-49,3.

液压与气动

OA北大核心

ISSN：1000-4858

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