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Si3N4微尺度薄膜的热物性

宋青林 夏善红 陈绍凤 张建刚

半导体学报2003，Vol.24Issue(z1)：47-50,4.
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半导体学报2003，Vol.24Issue(z1)：47-50,4.

Si3N4微尺度薄膜的热物性

Thermal Characteristics of Silicon Nitride Thin Membrane

宋青林 1夏善红 1陈绍凤 1张建刚1

作者信息

  • 1. 中国科学院电子学研究所,传感技术国家重点实验室,北京,100080
  • 折叠

摘要

关键词

热物性/热容/悬膜

分类

数理科学

引用本文复制引用

宋青林,夏善红,陈绍凤,张建刚..Si3N4微尺度薄膜的热物性[J].半导体学报,2003,24(z1):47-50,4.

基金项目

国家重点基础研究发展规划资助项目(No.G1999033102) （No.G1999033102）

半导体学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1674-4926

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