北京师范大学学报（自然科学版）2004，Vol.40Issue(4)：475-480,6.
C-N化合物薄膜的PE-HFCVD合成研究
THE FABRICATION OF C-N COMPOUND THIN FILMS WITH PE-HFCVD TECHNIQUE
摘要
关键词
PE-HFCVD/C-N 化合物/薄膜分类
数理科学引用本文复制引用
程国安,刘洪刚,郑瑞廷,赵勇,刘华平..C-N化合物薄膜的PE-HFCVD合成研究[J].北京师范大学学报（自然科学版）,2004,40(4):475-480,6.基金项目
国家自然科学基金资助项目(10275005) （10275005）
北京市优秀人才基金资助项目 （）
