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从光电子谱的峰背比及背景信号变化获得成分深度分布信息

季振国 朱玲

材料科学与工程2002,Vol.20Issue(4):478-481,4.
材料科学与工程2002,Vol.20Issue(4):478-481,4.

从光电子谱的峰背比及背景信号变化获得成分深度分布信息

Depth Profile from the P/B Ratio and the Dependence of the Background Signal on Binding Energy of X-ray Photoelectron

季振国 1朱玲2

作者信息

  • 1. 浙江大学硅材料国家重点实验室
  • 2. 浙江大学发展规划部,浙江,杭州,310027
  • 折叠

摘要

关键词

光电子谱/背景信号/深度剖析

分类

数理科学

引用本文复制引用

季振国,朱玲..从光电子谱的峰背比及背景信号变化获得成分深度分布信息[J].材料科学与工程,2002,20(4):478-481,4.

基金项目

浙江省分析测试基金2001年度资助项目 ()

材料科学与工程

OACSCDCSTPCD

1673-2812

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