南京理工大学学报（自然科学版）2007，Vol.31Issue(4)：478-481,4.
基于AFM单晶硅台阶线边缘粗糙度、顶表面和底表面粗糙度的测量
Line Edge Roughness and Top-bottom-surface Roughness Measurement of Single-crystal-silicon Step Using AFM
李洪波 1赵学增1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学,机电学院,黑龙江,哈尔滨,150001
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摘要
关键词
纳米计量/原子力显微镜/压电驱动器/边缘粗糙度/顶表面和底表面粗糙度分类
机械制造引用本文复制引用
李洪波,赵学增..基于AFM单晶硅台阶线边缘粗糙度、顶表面和底表面粗糙度的测量[J].南京理工大学学报（自然科学版）,2007,31(4):478-481,4.
