人工晶体学报2005，Vol.34Issue(3)：479-483,5.
Si(111)衬底上ZnO薄膜的磁控溅射法制备及表征
Preparation and Characterization of ZnO Films Grown by Magnetron Sputtering on Si(111) Substrates
摘要
关键词
ZnO薄膜/磁控溅射/X射线衍射/应力/光致发光分类
数理科学引用本文复制引用
汪洪,周圣明,宋学平,刘艳美,李爱侠..Si(111)衬底上ZnO薄膜的磁控溅射法制备及表征[J].人工晶体学报,2005,34(3):479-483,5.基金项目
安徽省优秀青年科技基金(No.00047208) （No.00047208）
省高校学术技术带头人后备人选科研基金资助 （）
