高技术通讯2006，Vol.16Issue(5)：479-484,6.
MEMS版图自动生成与工艺匹配系统研究
The research on MEMS layout autogeneration and process matching system
摘要
关键词
MEMS/专家系统/版图自动生成/工艺匹配分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
任亮,赵新,卢桂章,孙广毅..MEMS版图自动生成与工艺匹配系统研究[J].高技术通讯,2006,16(5):479-484,6.基金项目
863计划(2002AA404030)、国家自然科学基金(60475038,60173061)、天津市科委攻关项目. （2002AA404030）
