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样品厚度对表面光电压法测试少子扩散长度的影响

杨恒青 姜国庆 陈玉金 包宗明

半导体学报Issue(1)：48,1.
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半导体学报Issue(1)：48,1.

样品厚度对表面光电压法测试少子扩散长度的影响

杨恒青 1姜国庆 1陈玉金 1包宗明1

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杨恒青,姜国庆,陈玉金,包宗明..样品厚度对表面光电压法测试少子扩散长度的影响[J].半导体学报,1984,(1):48,1.

半导体学报

1674-4926

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