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激光技术
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薄膜均匀性的有限元算法
薄膜均匀性的有限元算法
谭旭东
马孜
蔡邦维
激光技术
2003，Vol.27
Issue(5)：480-483,4.
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激光技术
2003，Vol.27
Issue(5)
：480-483,4.
薄膜均匀性的有限元算法
Simulating uniformity of film thickness with finite-elements method
谭旭东
1
马孜
2
蔡邦维
1
作者信息
1.
四川大学电子信息学院,成都,610064
2.
西南技术物理研究所,成都,610041
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摘要
关键词
薄膜
/
均匀性
/
有限元
/
转速
分类
数理科学
引用本文
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谭旭东,马孜,蔡邦维..薄膜均匀性的有限元算法[J].激光技术,2003,27(5):480-483,4.
激光技术
OA
北大核心
CSCD
CSTPCD
ISSN：
1001-3806
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