光学精密工程2008，Vol.16Issue(3)：484-491,8.
双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真
Calculation and simulation of silicon MEMS gyroscope with dual-mass resonant output
摘要
关键词
微机电系统/陀螺仪/双质量块/双端音叉谐振器/频率输出分类
数理科学引用本文复制引用
李建利,房建成,盛蔚,董海峰..双质量块调谐输出式硅MEMS陀螺仪的理论计算及仿真[J].光学精密工程,2008,16(3):484-491,8.基金项目
国家自然科学基金重点项目(No.60736025) （No.60736025）
国防基础科研基金资助项目(No.D2120060013) （No.D2120060013）
