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太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究

张晓丹赵颖高艳涛朱锋魏长春孙建耿新华熊绍珍

物理学报2005，Vol.54Issue(10)：4874-4878,5.

太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究

Fabrication of intrinsic microcrystalline silicon thin films used for solar cells and its structure

张晓丹 ¹赵颖 ²高艳涛 ³朱锋 ⁴魏长春 ⁵孙建 ⁵耿新华 ⁵熊绍珍⁵

作者信息

1. 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所,天津
2. 300071
3. 南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室,天津300071
4. 光电信息技术科学教育部重点实验室（南开大学）,天津300071
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摘要

关键词

本征微晶硅薄膜/拉曼光谱/x射线衍射

分类

数理科学

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张晓丹,赵颖,高艳涛,朱锋,魏长春,孙建,耿新华,熊绍珍..太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究[J].物理学报,2005,54(10):4874-4878,5.

基金项目

国家重点基础研究发展规划项目(批准号:G2000028202和G2000028203)、国际科技合作项目(批准号:2002DFG00051)、国家高技术研究发展计划(批准号:2002AA303261)和天津市科技攻关项目(批准号:043186511)资助的课题. （批准号:G2000028202和G2000028203）

物理学报

OA北大核心CSCDSCI

ISSN：1000-3290

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