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磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜

周奎 张旭 覃礼钊 廖斌 吴先映

北京师范大学学报(自然科学版)2008,Vol.44Issue(5):487-490,4.
北京师范大学学报(自然科学版)2008,Vol.44Issue(5):487-490,4.

磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜

NANOCOMPOSITE nc-ZrCN/a-C:H(N) FILM SYNTHESIZED BY FILTERED CATHODIC VACUUM ARC TECHNIQUE

周奎 1张旭 1覃礼钊 1廖斌 1吴先映1

作者信息

  • 1. 北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室,北京师范大学核科学与技术学院,北京市辐射中心,100875,北京
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摘要

关键词

磁过滤阴极真空弧法(FCVA)/纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜/气体流量

分类

化学化工

引用本文复制引用

周奎,张旭,覃礼钊,廖斌,吴先映..磁过滤阴极真空弧法制备纳米nc-ZrCN/a-C:H(N)复合膜[J].北京师范大学学报(自然科学版),2008,44(5):487-490,4.

北京师范大学学报(自然科学版)

OA北大核心CSCDCSTPCD

0476-0301

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