红外技术2006，Vol.28Issue(8)：489-492,4.
铁电材料激光刻蚀系统中的PID微机控制技术
PID Control Technology in the Laser Etching System for Ferroelectric Materials
夏丽昆 1侯阳 2李银柱 3太云见 2袁俊 2莫启元2
作者信息
- 1. 总装重庆军代局驻昆明地区军代室,云南,昆明,650223
- 2. 昆明物理研究所,云南,昆明,650223
- 3. 北京理工大学自动控制系,北京,100081
- 折叠
摘要
关键词
铁电材料/激光刻蚀/PID控制技术分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
夏丽昆,侯阳,李银柱,太云见,袁俊,莫启元..铁电材料激光刻蚀系统中的PID微机控制技术[J].红外技术,2006,28(8):489-492,4.
