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SIMNI/SOI结构的高温工艺稳定性

李金华 林成鲁 林梓鑫 薛才广 邹世昌

半导体学报Issue(1)：49,1.
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半导体学报Issue(1)：49,1.

SIMNI/SOI结构的高温工艺稳定性

李金华 1林成鲁 1林梓鑫 1薛才广 1邹世昌1

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摘要

关键词

SIMNI／SOI/结构/高温/工艺/可靠性

分类

信息技术与安全科学

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李金华,林成鲁,林梓鑫,薛才广,邹世昌..SIMNI/SOI结构的高温工艺稳定性[J].半导体学报,1992,(1):49,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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