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二硅化钨形成、结构和电性质的研究

丁训良 王忠烈 钱亚宏

半导体学报Issue(5)：490,1.
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半导体学报Issue(5)：490,1.

二硅化钨形成、结构和电性质的研究

丁训良 1王忠烈 1钱亚宏1

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丁训良,王忠烈,钱亚宏..二硅化钨形成、结构和电性质的研究[J].半导体学报,1988,(5):490,1.

半导体学报

OACSCD

1674-4926

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