传感技术学报2008，Vol.21Issue(3)：490-493,4.
体硅电容式双轴微加速度计的信号检测新方法
A New Method for Signal Detection of Bulk-Silicon Capacitive Dual-Axis Micro-Accelerometers
刘晓为 1王超 1谭晓昀 2董长春1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学航天学院微电子科学与技术系,哈尔滨,150001
- 2. 黑龙江大学电子工程学院微电子科学与技术系,哈尔滨,150080
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摘要
关键词
双轴/差分电容/时分/信号检测分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘晓为,王超,谭晓昀,董长春..体硅电容式双轴微加速度计的信号检测新方法[J].传感技术学报,2008,21(3):490-493,4.
