物理学报2007，Vol.56Issue(8)：4914-4919,6.
原位氧化Zn3N2制备P型ZnO薄膜的性能研究
Preparation of P-type ZnO thin films by in situ oxidation of Zn3N2
摘要
关键词
p型ZnO薄膜/Zn3N2薄膜/射频溅射/原位氧化分类
数理科学引用本文复制引用
张军,谢二庆,付玉军,李晖,邵乐喜..原位氧化Zn3N2制备P型ZnO薄膜的性能研究[J].物理学报,2007,56(8):4914-4919,6.基金项目
广东省自然科学基金(批准号:31927)和广东省教育厅自然科学研究计划(批准号:2006112)资助的课题. （批准号:31927）
